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SH30.xyz.C，XYZ三維壓電掃描臺(tái)，高負(fù)載，兼容高真空 緊湊型 “SH 系列“ 高負(fù)載系列
SD15/30.x.C，微納壓電高速掃描臺(tái)，高速掃描運(yùn)動(dòng)，兼容高真空$n緊湊型 “SD系列“ 高動(dòng)態(tài)系列
Sxxx.XYZ.C，壓電多維度掃描臺(tái)，三維掃描運(yùn)動(dòng)，兼容無磁高真空$n 緊湊型 “S 系列“ 標(biāo)準(zhǔn)版系，電容閉環(huán)控制
Sxxx.Z.C，壓電升降掃描臺(tái)，Z軸掃描運(yùn)動(dòng) 緊湊型 “S 系列“ 標(biāo)準(zhǔn)版系，Z 方向大行程
Sxxx.X.C，壓電陶瓷位移臺(tái)，X軸掃描，兼容無磁高真空$n 緊湊型 “S 系列“ 標(biāo)準(zhǔn)版系，X 方向大行程
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