壓電位移臺能夠?qū)崿F(xiàn)納米級甚至更小量級的位移分辨率，這得益于壓電材料本身在電場作用下極為微小且準確的形變特性。相較于傳統(tǒng)的機械傳動位移裝置，它不存在絲杠螺母等機械傳動部件所帶來的間隙、摩擦以及回程誤差等問題，可以準確地到達設(shè)定的位置，對于像原子力顯微鏡、光刻機等對位移精度要求高的設(shè)備來說，是實現(xiàn)高精度定位的理想選擇。
由于壓電材料的形變是電場作用下的直接響應(yīng)，幾乎沒有機械傳動環(huán)節(jié)的慣性延遲，所以壓電位移臺可以在短時間內(nèi)完成位移動作。其響應(yīng)時間往往可以達到微秒甚至納秒級別，這使得它在需要快速動態(tài)調(diào)整位置的場景中優(yōu)勢明顯，比如在高速光學掃描、激光加工等對時間響應(yīng)要求苛刻的應(yīng)用中，能夠快速跟隨控制信號實現(xiàn)準確位移，保證系統(tǒng)的高效運行。
結(jié)構(gòu)通常較為緊湊，且壓電材料本身具有較高的剛度，在工作過程中不易發(fā)生晃動或者變形，能夠穩(wěn)定地維持設(shè)定的位移狀態(tài)。即使在受到外界一定程度的振動、沖擊等干擾時，依然可以憑借自身良好的剛性保持位移的準確性，確保在復雜環(huán)境下長時間穩(wěn)定工作，為精密實驗和加工提供了可靠的保障。
基于壓電材料的特性以及相對簡單的結(jié)構(gòu)設(shè)計，容易實現(xiàn)小型化，能夠被集成到空間受限的設(shè)備或者系統(tǒng)中。例如在一些微型的傳感器探頭、便攜式的檢測儀器內(nèi)部，都可以嵌入壓電位移臺來實現(xiàn)微小部件的準確位移控制，拓展了設(shè)備的功能并提高了整體的集成度。
壓電位移臺工作時主要依靠電場驅(qū)動壓電材料，不像一些電磁電機驅(qū)動的位移裝置會產(chǎn)生磁場，也就不會對周圍的電子元件、磁性材料等造成電磁干擾，同時也不受外界電磁環(huán)境的影響，能在電磁兼容性要求較高的環(huán)境中穩(wěn)定使用，如在強磁場的核磁共振檢測設(shè)備周邊輔助進行精密位移操作時，就凸顯出其無電磁干擾的優(yōu)勢。
