壓電陶瓷掃描臺，物鏡型，兼容無磁高真空

壓電·大范圍掃描運動 Carrier.OBxxx.C

? 針對顯微物鏡的大負載、高動態、緊湊型解決方案，用于顯微成像、自動對焦等應用

• Z 方向運動范圍 50-400 um；

• 最快穩定時間(90%位置穩定)10 ms以內；

• 閉環定位精度優于 1 nm；

• 控制器兼容多場科技MC-Archimedes Series；

• ?持無磁 (.NM) , 高真空 (.HV) 和超高真空(.UHV)選件升級；

壓電陶瓷掃描臺，物鏡型，兼容無磁高真空——詳細參數：

壓電陶瓷掃描臺，物鏡型，兼容無磁高真空——尺寸圖：

Carrier.OB050.C

Carrier.OB100.C

Carrier.OB200.C

Carrier.OB400.C

多場科技“壓電掃描臺·物鏡型”解決方案Carrier.OB.系列主要針對精密光學，半導體表征等應用場景，核心特點包括：

• Z方向單一運動方向，行程覆蓋50-400 um

• 快速運動穩定，10 ms內完成

• 支持高負載物鏡選項；提供多種物鏡轉接接口

• 支持第三方軟、硬件控制，實現自動對焦

• 支持電容(.C) 位置傳感

• 最高分辨率達到0.2 nm

• 支持無磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級

• 控制器兼容多場科技 Motion Controller - Archimedes Series