電容式位置傳感，亞納米級分辨率，50 kSa/s 數(shù)據(jù)采集；提供平板、圓柱和螺柱三種探頭形式，量程覆蓋 0.2 mm, 0.5 mm, 1 mm, 2 mm & 3 mm；提供高真空.HV、 超高真空.UHV & 無磁材料.NM 的多版本選擇